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| 品牌Brooks | 有效期至長期有效 | 最后更新2022-08-09 14:51 |
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布魯克斯Brooks質量流量控制器GF40技術規格
布魯克斯Brooks質量流量控制器GF40技術規格
布魯克斯Brooks Instrument
Brooks GF40質量流量控制器帶彈性體密封，為使用多種氣體、頻繁更換氣體類型或需要重新調整量程同時保留氣體測量和控制的系統、過程和設施提供了完美選擇準確性。
Brooks GF40質量流量控制器特征：
可編程多氣體/多量程功能
低于 1 秒的流量響應時間和 1% 設定點的精度，適用于工業應用
適合各種氣體
快速響應，哈氏合金傳感器
Brooks GF40質量流量控制器應用：
太陽能電池化學氣相沉積系統
生命科學生物反應器
真空工藝
納米技術/MEMS制造
等離子、玻璃和卷筒紙涂層系統
歧管/氣體輸送系統
Brooks GF40質量流量控制器技術規格：
流量范圍（滿量程）：3 sccm - 50 slm
準確性：1% SP 35；0.35% 滿量程 2-35%
壓力：150 磅/平方英寸/10 巴
重復性：<0.20% SP
響應時間：常閉閥：300 ms - <1 sec
密封材料：彈性體密封
表面處理：32µ 英寸 Ra
接液材料：316 不銹鋼
模擬通信：0-5 伏、0-10 伏；0-20 毫安、4-20 毫安
布魯克斯Brooks質量流量控制器GF40技術規格
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