德國ADL單極脈沖發生器 SD 151與直流電源結合使產生帶有反向的單極脈沖

一、產品概述

單極脈沖發生器用于電弧臨界和部分反應過程高質量和可復制的涂層

直流電源（HX、GX / GS）可通過接口X4P與單極脈沖發生器（SD）組合。因此，涂布設備可以使用直流或單極脈沖非常靈活地運行。在“主/從”或并聯作中，多個電源的同步功率可達 240 kW。脈沖發生器的緊湊 1/2 19“ 設計使直接安裝在真空室中成為可能！與所有 ADL 電源一樣，脈沖系統無需維護，極少發生故障，并且后續成本極低，性價比競爭力。

二、單極脈沖發生器應用

直流+單極脈沖

ADL 單極脈沖系統是部分氧化過程濺射的選擇。單極脈沖與金屬靶材部分反應或與陶瓷靶材呈亞化學計量，通過極低的電弧能量，有助于避免室壁或陽極的鈍化增加，從而有助于涂層過程的穩定。

直流和單極脈沖發生器的組合用于生產 OLED，或用于大平面屏幕或特殊裝飾和硬涂層的 LCD。

三、產品特性

具有低導電目標的廣泛濺射應用

對半氧化靶標（例如 TiOx、NbOx）具有出色的過程控制能力

對 AZO 等電弧關鍵靶材進行穩定加工

單極全反應涂層工藝，例如 SiO2四3O4人工智能2O3

與直流相比，涂層形貌得到改善

四、產品介紹

單極脈沖發生器 SD 151、SD 301、SD 351

高達 35 kW

與 ADL 直流電源結合使用，脈沖發生器 SD 151 / SD 301 和 SD 351 可產生帶有反向脈沖的單極脈沖，以加快陰極放電速度。與反向脈沖相結合，與不帶反向脈沖的脈沖發生器 （SD 150 / SD 300） 相比，極快的全自動電弧抑制可將電弧能量降低約 50%。發生器以 20 kHz 的固定頻率工作。因此，使用外部信號發生器，該頻率可以在 1 kHz 到 40 kHz 的范圍內變化。多達八個脈沖發生器可互連，通過控制電纜進行自動同步。SD 151、SD 301 和 SD 351 中包含的新電子設備可補償延遲時間，因此即使高壓輸出并聯，也不需要主振蕩器即可實現精確同步。

性能參數：

反向脈沖

輸出功率 15 kW、30 kW、

35 kW

并聯運行功率高達 280 kW

自動消弧

風冷

緊湊設計，1/2 19“ - 3HU

浮動輸出