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德國PI 微型線性平臺Q-521 Q?Motion®微型線性平臺

特點：

·         寬度僅21毫米，高度僅10毫米

·         帶有集成增量編碼器的直接位置測量

·         編碼器分辨率高達1 nm

·         最小增量運動可達2 nm

·         帶轉接板或支架的多軸系統設置（可選）

·         可根據要求提供 10 ^-6 hPa的真空版本

壓電慣性驅動

壓電慣性驅動器是節省空間且價格合理的基于壓電的驅動器，具有相對較高的夾持力和幾乎無限的行程范圍。慣性驅動原理基于單個壓電致動器，該壓電致動器由特殊驅動器電子設備提供的修改后的鋸齒電壓進行控制。執行器緩慢膨脹并移動流道。由于其慣性，轉輪無法跟隨執行器的后續快速收縮，并保持在其位置。驅動器的最高工作頻率為20 kHz，直接作用在轉輪上并達到最大速度。6毫米/秒

真空

 可根據要求提供10 ^-6 hPa的真空版本。

直接測量原理

線性位移臺配有非接觸式測量光學線性編碼器和參考開關。分辨率為4 nm或1 nm，具體取決于版本。

應用領域

微型裝配，光子學，光學對準，顯微鏡，光束線儀器，半導體技術，測試