PI (Physik Instrumente)線性促動器

楊文輝 QQ：2850590598   手機：18301216381 電話：010-64717020-111 傳真：010-84786709-666 郵件：sales11@handelsen.cn

PI不僅開發和生產各種定位平臺和執行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 因此，PI可以將這些解決方案應用于客戶特定應用，或者提供用于運動和定位的成品子系統。

PI是技術先進的以運動為中心的解決方案的供應商，因此使用專有的驅動組件和高精度定位器。 所有級別的集成都可以達到使用不同驅動技術（包括運動控制）的多軸組合。

多年來，運動子系統的工程設計一直是PI核心業務的一部分。 定制解決方案，無縫融入現有流程，推動芯片生產或光子封裝制造和檢測流程的自動化以及主要研究設施。

精密部件是高質量多軸設計的基礎
成功的關鍵是PI Group的全部知識和經驗。 通過一家供應商提供的廣泛標準產品組合，可輕松實現定制解決方案。 PI提供系統的所有組件并配置多軸結構。

長行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

應用領域

?工業級精度定位

?半導體技術

?半導體測試

?晶圓檢測

?平版印刷術

?納米壓印

?納米測量

?強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進驅動實現納米精度和大進給力

數個壓電陶瓷促動器在

PiezoWalk步進驅動中執行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分

辨率進行最小步進和推進運動。

增量

編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學

編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

適用于復雜真空應用PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環境中。

規格

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

線性促動器

?力量生成達600牛

?保持力達800牛

?行程20毫米

?帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器5納米

訂購信息

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，開環

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，開環

N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率