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| 品牌FUG | 有效期至長期有效 | 最后更新2020-09-30 16:02 |
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FUG高壓電源HCL14- 6500
納米范圍內的最小結構形成在半導體或其他基板上。要求與電子顯微鏡相似，但對于光刻，電子束電流的調節必須覆蓋較大的功率范圍。20 kV-70 kV，低電流（mA），輔助電源，非常高的穩定性，低紋波。
功率半導體：
通常必須對組件進行介電強度，電流路由和開關行為測試。范圍800V-20,000V，最高10kW，高/高電流脈沖最高3000A。大電流脈沖發生器，最大輸出電流為3000A。
冷凝器測試儀/成型系統：
必須測試電容器的介電強度，并在制造過程中或以后使用時形成電容器。范圍800V-20,000V，最高10kW。
半導體生產需要高度精確的集成電源。它由FuG電源保證。在這里，以及基本或專業系列中都使用了定制的解決方案-例如在離子注入，光刻和顯微鏡檢查中。電容器必須進行介電強度測試，并在制造過程中以及使用期間的一定間隔內進行成型
FUG高壓電源型號HCL系列：
FUG高壓電源HCL350- 20000，
FUG高壓電源HCL14- 3500，
FUG高壓電源HCL35- 3500，
FUG高壓電源HCL140- 3500，
FUG高壓電源HCL350- 3500，
FUG高壓電源HCL14- 6500，
FUG高壓電源HCL14- 20000，
FUG高壓電源HCL35- 6500，
FUG高壓電源HCL140- 20000，
FUG高壓電源HCL140- 6500，
FUG高壓電源HCL350- 6500，
FUG高壓電源HCL14- 12500，
FUG高壓電源HCL35- 12500，
FUG高壓電源HCL350140- 12500，
FUG高壓電源HCL35- 20000，
FUG高壓電源HCL35- 35000，
FUG高壓電源HCL140- 35000，
FUG高壓電源HCL350- 35000
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