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| 品牌PI | 有效期至長期有效 | 最后更新2021-04-23 13:51 |
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PI動態納米定位器P-363系列參數
P-363 筆克管 XY (Z) 皮佐掃描儀
用于掃描探針顯微鏡的動態納米定位器
· 用于自動對焦 /SPM 的超高性能閉環掃描儀
· 用于生物/納米技術的緊湊型操作工具
· 共振頻率 9.8 kHz，PI動態納米定位器吳亞男用于特別快速的掃描
· 引導誤差自動補償的并行測量技術
· 分辨率 50 象形儀
· 旅行范圍 5 μm × 5 μm × 5 μm
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P-363.3CD |
P-363.2CD |
單位 |
浮動值 |
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活動軸 |
X、Y、Z |
X， Y |
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運動和定位 |
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集成傳感器 |
電容的 |
電容的 |
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旅行范圍在 X， Y 在 -250 到 +250 V， 打開循環 |
±3 |
±3 |
μm |
20% |
|
Z 中的旅行范圍為 -250 至 +250 V，打開環路 |
±2.7 |
- |
μm |
20% |
|
X、Y、閉環旅行范圍 |
±2.5 |
±2.5 |
μm |
|
|
Z 中的旅行范圍，閉環 |
±2.5 |
- |
μm |
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分辨率，打開循環* |
0.03 |
0.03 |
納米 |
泰普 |
|
分辨率，閉環 |
0.1 |
0.1 |
納米 |
|
|
線性錯誤 |
0.05 |
0.05 |
% |
泰普 |
|
可重復性** |
1 |
1 |
納米 |
泰普 |
|
投/偏航在X，Y |
0.5 |
0.5 |
烏拉德 |
泰普 |
|
以 Z 中運動傾斜 |
0.2 |
- |
烏拉德 |
泰普 |
|
X、Y中的直度 |
3 |
3 |
納米 |
泰普 |
|
X、Y中的平整度 |
•lt：10 |
•lt：10 |
納米 |
泰普 |
|
Z中運動的相聲 |
5 |
- |
納米 |
泰普 |
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機械特性 |
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X，Y中的共振頻率，卸載 |
3.1 |
4.2 |
千 赫 |
±20% |
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Z中的共振頻率，卸載 |
9.8 |
- |
千 赫 |
±20% |
|
X、Y負載下的共振頻率 |
1.5 （20 克） |
2.1 （20 克） |
千 赫 |
±20% |
|
負載容量 |
10 |
10 |
N |
max |
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陶瓷類型 |
皮卡， 皮卡剪 |
皮卡剪切 |
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雜項 |
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工作溫度范圍 |
-20 至 80 |
-20 至 80 |
°C |
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材料 |
鈦 |
鈦 |
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尺寸 |
30 毫米× 30 毫米× 40 毫米 |
30 毫米× 30 毫米× 28 毫米 |
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質量 |
225 |
190 |
g |
±5% |
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電纜長度 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10毫米 |
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傳感器/電壓連接器 |
D-子 24W7 （m） |
D-子 24W7 （m） |
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推薦電子產品 |
E-536 |
E-536 |
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應用范圍
· 掃描探針顯微鏡
· 原子力顯微鏡
· 掃描和篩選
由于零播放彈性指南，指導精度高
Flexure 指南不含維護、摩擦和磨損，不需要潤滑。PI動態納米定位器吳亞男 它們的剛度允許高負載容量，并且對沖擊和振動麻木不仁。它們 100% 真空兼容，在寬溫范圍內工作。
由于平行位置測量，納米范圍內的跟蹤精度很高
所有自由度都是用一個固定的參考來衡量的。PI動態納米177定1858位3804器軸之間不受歡迎的相聲可以實時(取決于帶寬)得到積極補償(主動引導)。即使在動態操作中，納米范圍內也會實現高跟蹤精度。
帶電容傳感器的子納米分辨率
電容式傳感器在不接觸的情況下使用亞納米分辨率進行測量。它們保證了 kHz 范圍內出色的運動線性、長期穩定性和帶寬。
自動配置和快速組件交換
力學和控制器可以根據需要進行組合并快速交換。PI動態納米177定1858位3804器 所有伺服和線性化參數都存儲在力學 D 子連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時，數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。
| 吳亞男 QQ：2853369884 手機：17718583804 電話：010-64714988-212 傳真：010-64714988-668 郵件：tk2@handelsen.cn |
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PI動態納米定位器P-363系列參數
