PZ 250 CAP WL專為直徑達12英寸的半導體晶片的精確定位而開發

 

公司簡介：

 

壓電位移臺PIEZOSYSTEM

德國PIEZOSYSTEM JENA成立于1991年，為半導體，顯微鏡和同步加速器領域提供壓電微定位，壓電定位和計量解決方案。PIEZOSYSTEM JENA在將壓電技術應用于定位任務，壓電彎曲階段的設計以及壓電機械系統的開發方面擁有廣泛的知識和深入的技術專長?；趬弘姷膬x器配備了壓電技術，可提供幾乎無限分辨率的XY或3D運動。PIEZOSYSTEM JENA的計量實驗室配備了高分辨率測距干涉儀，使其能夠對分辨率低至50皮米的壓電平臺，z軸顯微鏡壓電元件和壓電執行器系統的自定義加載配置進行測試。準確確定一次共振是PIEZOSYSTEM JENA可以為客戶提供的眾多服務之一，以確保提供的系統能夠滿足苛刻的定位任務。

 

主營產品有：壓電陶瓷環、線性促動器、兩軸位移臺、三軸位移臺、五軸位移臺、偏擺臺等

 

PZ 250 CAP WL

 

PZ 250 CAP WL專為直徑達12英寸的半導體晶片的精確定位而開發。致動器在Z方向上提供250 μm的運動行程?？梢詫崿F納米級的精度?？梢蚤L期穩定地保持特定的位置。由于其高硬度，PZ 250 CAP WL可以承載高達3公斤的負荷。

 

1、同一系列的不同型號之間，主要差別在于行程，以及行程不同引起的精度差異、尺寸差異等，例如：

 

型號：PZ 250 CAP WL

 

編號：S-627-51 D

軸：Z

行程 (±10%)：350μm

分辨率。：3nm

尺寸(長x寬x高)：400 x 380 x 20mm

 

PZ 250 CAP WL專為直徑達12英寸的半導體晶片的精確定位而開發