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    品牌FuG Elektronik 有效期至長期有效 最后更新2024-04-07 17:39
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    德國FuG Elektronik 射頻電源,提供最高水平的可靠性和可重復性

     德國FuG Elektronik 射頻電源,提供最高水平的可靠性和可重復性
     
    公司介紹:
     
    FuG Elektronik GmbH 和 Guth High Voltage GmbH 現在是 XP Power 的一部分,XP Power 是世界領先的電子行業關鍵電源解決方案開發商和制造商之一。
     
    XP Power致力于成為電源解決方案的領先供應商,包括AC-DC電源和DC-DC轉換器,高壓電源 和射頻電源。
     
    射頻功率系統
    大批量、經生產驗證的射頻解決方案
    無論是過程穩定性還是易于集成,對高性能電源解決方案的要求往往都很復雜。我們的射頻專業知識受到客戶的信任,能夠在我們經濟高效的解決方案中提供最高水平的可靠性和可重復性。
     
    我們的射頻功率能力
    當涉及到關鍵電力系統時,故障不是一種選擇,
    這就是XP Power致力于在其射頻電源解決方案中提供最佳可靠性的原因,其控制和監視器使您能夠密切關注性能。
    我們擁有易于集成的射頻發生器,具有最新的通信協議和先進的脈沖功能。結合我們領先的阻抗匹配網絡,我們幫助客戶解決他們最高價值的問題。
     
    增強了工藝重復性和最終使用壽命值
    我們提供廣泛的射頻等離子體發生器和阻抗匹配網絡,可根據您的獨特應用進行配置。從半導體加工到工業應用,我們的產品都能滿足您獨特的工藝要求。
    XP Power射頻發生器采用新的穩定技術設計,可在工藝條件發生變化時消除射頻振蕩。這將帶來更可重復的逐運行供電。通過消除不穩定性,這些組件也可以在更安全的狀態下運行,從而提高射頻功率傳輸系統的壽命。
     
    產品:
     
    ①:CDX系列
    CDX系列是業界領先的雙射頻等離子體發生器。這種獨特的設計是XP射頻放大器40多年工程知識的結晶,將兩種不同的射頻輸出集成到一個緊湊、高性能的封裝中。在可維護性和集成性方面,CDX發生器是最具成本效益和靈活性的射頻解決方案,旨在滿足未來市場需求。
     
    特點和優點
     
    可配置400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz或60MHz的任意兩個固定頻率
    每輸出功率高達1.5kW
    每個獨立通道提供可靠且可重復的射頻功率
    靈活的平臺支持廣泛的應用程序
    擁有成本低
     
    ②:CH系列
    CH系列射頻發生器旨在優化占地面積效率,將我們的XP功率射頻放大器和開關模式直流技術結合到一個緊湊的半機架封裝中,具有高水平的功率傳輸可靠性和準確性。模塊化設計使CH生成器可配置用于任何客戶平臺。
     
    特點和優點
     
    最寬的可選擇固定頻率:400kHz至60MHz
    功率范圍從50W到1.5kW
    頻率捷變調諧和高級脈沖
    DeviceNet、RS232和EtherCAT
    靈活的設計,便于工藝工具集成
    采用TurboTune技術的經濟高效的解決方案
     
    ③:CB系列
    在必須具備工藝可靠性的情況下,CB射頻發生器采用我們經過半導體生產驗證的固態設計,提供精確且可重復的功率控制,為您的最關鍵的工藝提供超穩定可靠的射頻功率。
     
    特點和優點
     
    固定頻率的多樣化選擇:13.56至60MHz
    功率范圍從600W到5.0kW
    S-Technology提供超穩定的輸出
    增強等離子體穩定性,實現最佳工藝環境
    改進的射頻控制可實現功率重復性
    穩健的設計可實現高加工工具正常運行時間
     
    ④:CLB系列
    CLB3000系列融合了我們CB3000平臺的所有創新。CLB發電機專門設計用于低頻和中頻應用,提供增強的精度和可重復的功率輸送。
     
    特點和優點
     
    標準功率版本:600W、1.25kW、3.0kW或200W至10kW的可配置功率選項
    寬低頻至中頻固定頻率——20kHz至2MHz
    增強的供電精度
    高度靈活性的平臺支持廣泛的中低頻應用
    用于過程控制的超穩定調節射頻輸出
    擁有成本低
     
    ⑤:RF匹配網絡
    XP功率阻抗匹配網絡采用我們獨特的高速調諧算法設計,即使在高“Q”負載下也能實現精確的匹配調諧??刂齐娐房焖?、準確、可靠地將輸入阻抗調整為50歐姆,以響應過程中負載特性的變化。
     
    特點和優點
     
    寬功率范圍從50W到10kW
    寬阻抗范圍,可覆蓋不同應用
    直流偏置和射頻VP-P檢測器電路
    定制以適合所有類型的腔體
    調整過程中的運行到運行和機組到機組的可重復性確保了更嚴格的過程控制
    通過快速調整和等離子體穩定時間提高工具生產率
     
    德國FuG Elektronik 射頻電源,提供最高水平的可靠性和可重復性
    張振濤
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