Bronkhorst氣體流量控制器EL-FLOW Select系列用于清潔和干燥氣體

 

用于清潔和干燥氣體的實驗室式質量流量儀器?？蛇x的有用于半導體市場和其他高純氣體的金屬密封儀器

準確性：提供高精度的旁路傳感器，優異的溫度穩定性，以及快速響應。

Bronkhorst 氣體流量控制器 EL-FLOW Select 是一款高性能的氣體流量控制設備?；跓醾鲗г?，通過測量氣體對加熱元件和溫度傳感器之間熱量傳遞的影響來確定氣體的質量流量。當氣體流過傳感器時，帶走加熱元件的熱量，導致溫度傳感器檢測到溫度變化，根據這種變化與氣體流量的關系計算出氣體的質量流量。內置的微處理器將測量得到的實際流量值與設定值進行比較，根據偏差信號控制精密的控制閥，調節氣體流量，使實際流量不斷趨近于設定值，實現精確的流量控制。

 

產品特點

高精度測量與控制：采用先進的熱式質量流量傳感器和精密控制閥，能夠實現高精度的氣體流量測量和控制，精度可達 ±0.5% rd plus ±0.1% fs，重復精度優于 ±0.2% rd。

快速響應：EL-FLOW Select 系列的響應速度非?？?，一般在 2-4 秒內即可完成從一個流量值到另一個流量值的穩定調節，能夠滿足快速變化的流量控制需求。

寬流量范圍：涵蓋了從 0.014 mln/min 到 1670 ln/min 的廣泛流量范圍，可滿足不同應用場景對氣體流量的需求。

多氣體兼容性：可以存儲最多 8 條校準曲線，實現對多種不同氣體的精確測量和控制，用戶可根據實際使用的氣體種類選擇相應的校準曲線。

壓力和溫度獨立性：具有出色的壓力和溫度穩定性，壓力敏感性小于 0.1% rd/bar（典型 N?），溫度敏感性小于 0.05% fs/°C（零點）和 0.05% rd/°C（量程），在不同的壓力和溫度條件下仍能保持高精度的流量控制。

多種通信接口：除了標準的 RS232 通信接口外，還可選配 CANopen、DeviceNet、EtherCAT、Profibus DP、Profinet、Modbus RTU、ASCII over TCP/IP、Ethernet/IP、Powerlink 或 Flow-bus 等通信接口，方便與各種自動化控制系統集成。

技術參數

工作溫度范圍：-10℃至 + 70℃。

壓力等級：可達 100 bar abs，部分型號如 F-201CV 為 64 bar abs。

過程連接：可選擇壓縮式或面密封（VCR/VCO）接頭。

電源供應：+15…24 VDC，不同接口下的最大功耗有所不同。

 

應用領域

半導體行業：用于半導體制造過程中的氣體流量控制，如化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、刻蝕等工藝，確保精確的氣體配比和流量控制，提高半導體器件的質量和一致性。

化學工業：在化學反應過程中，精確控制各種反應氣體的流量，有助于優化反應條件，提高反應效率和產品質量，同時確保生產過程的安全性。

制藥行業：在制藥過程中的氣體滅菌、藥品包裝等環節，需要精確控制氣體流量，以保證藥品的質量和安全性。

科研領域：在高校、科研機構的實驗室中，用于各種氣體相關的實驗研究，如材料科學、化學工程、生物醫學等領域的實驗，為科研人員提供精確的氣體流量控制。

 

常見型號

F-100D

F-101D

F-101E

F-102D

F-102E

F-103D

F-103E

F-110C

F-111AC型

F-111B型